特許

J-GLOBAL ID：200903074025081560

レーザ装置

発明者： 有我 達也 ,  若林 理
出願人/特許権者： ギガフォトン株式会社 ,  株式会社小松製作所
代理人 (1件)： 宇都宮 正明 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-002992
公開番号（公開出願番号）：特開2003-204104
出願日： 2002年01月10日
公開日（公表日）： 2003年07月18日
要約：

【要約】【課題】 屈折系の投影光学系を有する露光装置の短波長光源として、要求される出力を満たしつつ、出力光を狭帯域化したレーザ装置を提供することを目的とする。【解決手段】 このレーザ装置は、対向面にコーティングを有する2枚の基板からなるエタロンを用いた狭帯域化手段を含み、狭帯域化手段によって狭帯域化されたレーザ光を放出するレーザ発振器と、レーザ発振器から放出されたレーザ光を増幅するレーザ増幅器とを具備するとともに、レーザ発振器から放出されるレーザ光の狭帯域化されていないときのスペクトル波形の幅を2A、狭帯域化手段をレーザ光が通過する回数をMとすると、前記コーティングの光反射率Rが、所定の式を満たすようにエタロンが構成されている。

請求項（抜粋）：

対向面にコーティングを有する2枚の基板からなるエタロンを用いた狭帯域化手段を含み、前記狭帯域化手段によって狭帯域化されたレーザ光を放出するレーザ発振器と、前記レーザ発振器から放出されたレーザ光を増幅するレーザ増幅器とを具備するレーザ装置において、前記レーザ発振器から放出されるレーザ光の狭帯域化されていないときのスペクトルの幅を2A、狭帯域化手段をレーザ光が通過する回数をMとすると、前記コーティングの光反射率Rが、下記に示す式【数1】を満たすように前記エタロンが構成されていることを特徴とするレーザ装置。

IPC (3件)：

H01S 3/137 ,  G02B 5/28 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

H01S 3/137 ,  G02B 5/28 ,  H01L 21/30 515 B

Fターム (19件)：

2H048GA01 ,  2H048GA09 ,  2H048GA13 ,  2H048GA25 ,  2H048GA48 ,  5F046CA04 ,  5F072AA04 ,  5F072FF08 ,  5F072JJ03 ,  5F072JJ05 ,  5F072JJ09 ,  5F072JJ13 ,  5F072KK06 ,  5F072KK08 ,  5F072KK09 ,  5F072KK15 ,  5F072KK30 ,  5F072RR05 ,  5F072YY09