特許

J-GLOBAL ID：200903074027035808

着色画像形成用レジスト組成物

発明者： 穂積 滋郎 ,  中川 弘也
出願人/特許権者： 住友化学工業株式会社
代理人 (1件)： 久保山 隆 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-289528
公開番号（公開出願番号）：特開平11-125902
出願日： 1997年10月22日
公開日（公表日）： 1999年05月11日
要約：

【要約】【課題】 310nm以下の波長の光を十分に透過しないマスクを使用しても、十分な感度を有し、かつ光透過率が高くて透明な着色画像を与えるレジスト組成物を提供する【解決手段】 (A)顔料、(B)カルボキシル基含有共重合体、(C)光重合性モノマー、(D)光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有する着色画像形成用レジスト組成物において、その光重合開始剤の少なくとも一部として、下式(I)で示されるフォスフィンオキシド化合物を用いる。式中、R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 及びR9 は互いに独立に、水素、炭素数1〜4のアルキル又は炭素数1〜4のアルコキシを表す。

請求項（抜粋）：

(A)顔料、(B)カルボキシル基含有共重合体、(C)光重合性モノマー、(D)光重合開始剤、及び(E)溶剤を含有するレジスト組成物であって、該光重合開始剤が、式(I)(式中、R1 、R2 、R3 、R4 、R5 、R6 、R7 、R8 及びR9 は互いに独立に、水素、炭素数1〜4のアルキル又は炭素数1〜4のアルコキシを表す)で示されるフォスフィンオキシド化合物を含有することを特徴とする着色画像形成用レジスト組成物。

IPC (4件)：

G03F 7/029 ,  C08F 2/50 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505

FI (4件)：

G03F 7/029 ,  C08F 2/50 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/004 505