特許
J-GLOBAL ID：200903074027509567
縦形XYステージ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-086613
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102011
出願日： 1992年03月11日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 SOR光軸に直交する水平面内方向の幅を短縮し、高速、高精度化並びに安全性の向上を図ることを目的とする。【構成】 X軸スライダ32をL字形に形成してその水平部32Aをスライダ本体とし、垂直部32BをY軸スライダ22の案内とする。水平部32Aと垂直部32Bとで囲まれた空間部分にステージ20を配置し、このステージ20をY軸スライダ22に倒立軸23によって回動自在に連結する。
請求項（抜粋）：
X軸スライダと、Y軸スライダとを備え、前記X軸スライダの水平部をスライダ本体、垂直部を前記Y軸スライダのガイドとし、水平部と垂直部とによって囲まれた空間部分にステージを配設し、このステージを前記Y軸スライダに倒立軸または開閉軸によって倒立または開閉自在に連結したことを特徴とする縦形XYステージ。
IPC (2件)：
引用特許：
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