特許
J-GLOBAL ID：200903074031014467
トンネル式クリーンルーム用フィルタユニット
出願人/特許権者：
三機工業株式会社
三機工業株式会社 について
代理人 (1件)： 古谷 史旺 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310598
公開番号（公開出願番号）：特開平9-150027
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：
【要約】【課題】 境界領域に位置する作業員からの発塵を高速流域に巻き込むことを防止すると共に、良好な気流分布を与えることができるトンネル式クリーンルーム用フィルタユニットを提供することにある。【解決手段】 クリーンルーム用エアフィルタが、短径方向に切断した断面略半楕円形状を為すと共に、短径方向に吹き出す領域の濾材面積が大きい。クリーンルーム用エアフィルタが、短径方向に切断した断面略1/4楕円形状を為す。短径方向に吹き出す領域の曲率が、長径方向に吹き出す領域の曲率より小さい。短径方向に吹き出す領域の曲率が、短径方向に吹き出す領域と長径方向に吹き出す領域との間の中間に吹き出す領域の曲率より小さい。短径方向に吹き出す領域が、直線である。短径方向に吹き出す領域が、濾材密度を高くしている。短径方向に吹き出す領域が、濾材高さを高くして、濾材面積を増加させている。
請求項（抜粋）：
クリーンルーム用エアフィルタが、短径方向に切断した断面略半楕円形状を為すと共に、短径方向に吹き出す領域の濾材面積が大きいことを特徴とするトンネル式クリーンルーム用フィルタユニット。
IPC (3件)：
FI (3件)：
引用特許：
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