超音波ディスペンサ及び高粘度流動体の吐出方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：櫻井俊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-055204
公開番号（公開出願番号）：特開平6-246211
出願日： 1993年02月19日
公開日（公表日）： 1994年09月06日
要約：

【要約】〔目的〕単位時間当たりの吐出量の増大を図った超音波ディスペンサと高粘土流動体の吐出方法を提供する。〔構成〕 1 又は複数の吐出孔が形成された吐出部(20)と、この吐出部に高粘度流動体を加圧的に供給し吐出させる加圧供給部(30)と、超音波振動を発生して吐出部に伝達する超音波振動発生部(10)とを備え、吐出部に超音波振動を与えながら加圧状態で高粘度流動体を吐出させる。

請求項（抜粋）：

1又は複数の吐出孔が形成された吐出部と、この吐出部に高粘度流動体を加圧的に供給し吐出させる加圧供給部と、超音波振動を発生して前記吐出部に伝達する超音波振動発生部とを備えたことを特徴とする超音波ディスペンサ。

IPC (4件)：

B05C 5/00 , B05C 5/00 101 , B05D 1/26 , H01L 21/56

引用特許：

審査官引用 (2件)

特公昭39-002781
特公昭39-002781

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