特許

J-GLOBAL ID：200903074032594351

ポリベンゾオキサゾール前駆体組成物および感光性樹脂前駆体組成物

発明者： 藤田 陽二 ,  富川 真佐夫
出願人/特許権者： 東レ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-063077
公開番号（公開出願番号）：特開2001-249452
出願日： 2000年03月08日
公開日（公表日）： 2001年09月14日
要約：

【要約】【課題】アルカリ現像可能な耐溶剤性に優れたポジ型の感光性樹脂前駆体組成物を提供する。【解決手段】一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリベンゾオキサゾール前駆体組成物であり、前記ポリベンゾオキサゾール前駆体組成物とo-キノンジアジド化合物を含有することを特徴とするポジ型感光性樹脂前駆体組成物である。【化1】のいずれかを示し、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から6価の有機基を示す。nは10から100000までの整数を示し、pは1から4までの整数を示す。R3、R4は水素、炭素数1から10までの有機基、ニトロ基、ハロゲン、パーフルオロアルキル基のいずれかを示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。x、yは1から4までの整数を示す。)

請求項（抜粋）：

一般式(1)で表される構造単位を主成分とするポリベンゾオキサゾール前駆体組成物。【化1】のいずれかを示し、R2は、少なくとも2個以上の炭素原子を有する3価から6価の有機基を示す。nは10から100000までの整数を示し、pは1から4までの整数を示す。R3、R4は水素、炭素数1から10までの有機基、ニトロ基、ハロゲン、パーフルオロアルキル基のいずれかを示し、それぞれ同一であっても異なっていてもよい。x、yは1から4までの整数を示す。)

IPC (7件)：

G03F 7/037 ,  C08G 73/22 ,  C08K 5/41 ,  C08L 79/04 ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312

FI (8件)：

G03F 7/037 ,  C08G 73/22 ,  C08K 5/41 ,  C08L 79/04 B ,  G03F 7/022 ,  H01L 21/312 D ,  H01L 21/312 A ,  H01L 21/30 502 R

Fターム (55件)：

2H025AA00 ,  2H025AA06 ,  2H025AB16 ,  2H025AC01 ,  2H025AD03 ,  2H025BE01 ,  2H025CB26 ,  2H025FA03 ,  2H025FA17 ,  2H025FA29 ,  4J002CM021 ,  4J002EE056 ,  4J002EQ016 ,  4J002EV216 ,  4J002FD206 ,  4J002GP03 ,  4J043PA01 ,  4J043PA19 ,  4J043PC015 ,  4J043PC065 ,  4J043PC135 ,  4J043PC145 ,  4J043PC165 ,  4J043RA05 ,  4J043RA52 ,  4J043SA06 ,  4J043SB01 ,  4J043SB02 ,  4J043TA12 ,  4J043TA26 ,  4J043TB01 ,  4J043TB02 ,  4J043UA121 ,  4J043UA131 ,  4J043UA132 ,  4J043UA361 ,  4J043UA381 ,  4J043UB011 ,  4J043UB021 ,  4J043UB061 ,  4J043UB121 ,  4J043UB151 ,  4J043UB301 ,  4J043XA04 ,  4J043XA13 ,  4J043ZA12 ,  4J043ZA46 ,  4J043ZB22 ,  4J043ZB47 ,  5F058AC06 ,  5F058AC07 ,  5F058AF04 ,  5F058AG01 ,  5F058AH02 ,  5F058AH03