特許
J-GLOBAL ID：200903074060558018
プラズマ発生装置およびその動作方法
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-014887
公開番号（公開出願番号）：特開平7-211656
出願日： 1994年01月13日
公開日（公表日）： 1995年08月11日
要約：
【要約】【目的】 大面積プラズマを簡単な排気装置で生じさせる。【構成】 同軸円筒状に構成されたパイプ形状を有する中心電極(11)と外側電極(29)とその隙間に挿入された円筒状絶縁物(13)とを有し、中心電極(11)と円筒状絶縁物(13)との隙間、及び円筒状絶縁物(13)と外側電極(29)との隙間、及び中心電極(11)の中(10)にガスを流し、中心電極(11)と外側電極(29)との間で放電を起こす。この際ガスとしてヘリウム等の稀ガスを主体とするガスを用いることで、5〜150Torr程度の中圧力でプラズマを生じさせることができる。そして、前記(10)内を流れるガスを前記稀ガスを主成分とするガスで活性化することによって、各種プラズマ気相反応を行うことができる。
請求項（抜粋）：
同軸状に形成された外側電極と中心電極とを有し、前記外側電極と中心電極との隙間には円筒状の絶縁体が挿入されており、前記中心電極はパイプ形状を有し、前記中心電極と円筒状の絶縁体との隙間を稀ガスまたは稀ガスを主成分とするガスが流れる構成を有し、前記中心電極の内部をガスが流れる構成を有するプラズマ発生装置。
IPC (5件)：
H01L 21/205
, C23C 16/50
, C23F 4/00
, H01L 21/3065
, H05H 1/46
