ダイヤモンドの合成方法及び装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：曾我道照 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-172757
公開番号（公開出願番号）：特開平5-017290
出願日： 1991年07月12日
公開日（公表日）： 1993年01月26日
要約：

【要約】【目的】本発明はダイヤモンドの合成方法及び装置に関し、同軸ケーブルを介して送られたマイクロ波を、アンテナを介して反応室内に導くことにより、任意の形状及び大きさの母材を反応室内の任意の位置においてダイヤモンドの成膜を行うことを特徴とする。【構成】本発明によるダイヤモンドの合成方法及び装置は、プラズマCVD法により、反応室(2)内に含炭素ガスを供給し、試料台(3)上に設けられた母材(4)にダイヤモンドを合成するようにしたダイヤモンドの合成方法において、前記反応室(2)内に設けたアンテナ(13)に対し同軸ケーブル(11)を介してマイクロ波(1)を供給すると共に、前記アンテナ(13)を介して前記反応室(2)内に前記マイクロ波(1)を供給する方法である。

請求項（抜粋）：

プラズマCVD法により、反応室(2)内に含炭素ガスを供給し、試料台(3)上に設けられた母材(4)にダイヤモンドを合成するようにしたダイヤモンドの合成方法において、前記反応室(2)内に設けたアンテナ(13)に対し同軸ケーブル(11)を介してマイクロ(1)波を供給すると共に、前記アンテナ(13)を介して前記反応室(2)内に前記マイクロ波(1)を供給することを特徴とするダイヤモンドの合成方法。

IPC (3件)：

C30B 29/04 , C30B 25/02 , H01L 21/205

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