インクジェットヘッド

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松田正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-286644
公開番号（公開出願番号）：特開2001-105609
出願日： 1999年10月07日
公開日（公表日）： 2001年04月17日
要約：

【要約】【課題】ノズルが高密度化した場合、アクチュエータ基板の駆動電極と、ドライバ基板の端子電極との接続工程が、従来のワイヤボンディングでは難作業性となる。【解決手段】アクチュエータ基板1の上面と、ドライバ基板6の上面を一致させ、アクチュエータ基板1の上面に形成されたインク流路7から、ドライバ基板6の上面にかけて連続した溝100を形成し、その溝100を利用して、インク流路7内の駆動電極4、外部電極8と、ドライバ基板6上面の端子電極10とを、接続電極15で接続する。溝切削はダイサーブレードを、電極は金属蒸着を、不必要な電極の除去は溝切削まえにマスクとしてレジストを用いる。

請求項（抜粋）：

アクチュエータ基板と、そのアクチュエータ基板の上面に設けられたインク流路と、そのインク流路を形成する隔壁の側面に形成された駆動電極と、ドライバ基板と、そのドライバ基板の上面に設けられた端子電極とを備えたインクジェットヘッドにおいて、前記ドライバ基板の上面には、前記アクチュエータ基板のインク流路と連続する溝が形成され、前記駆動電極と、前記端子電極は、前記溝内に形成された接続電極を利用して電気的に接続されていることを特徴とするインクジェットヘッド。

IPC (3件)：

B41J 2/16 , B41J 2/045 , B41J 2/055

FI (2件)：

B41J 3/04 103 H , B41J 3/04 103 A

Fターム (10件)：

2C057AF93 , 2C057AG45 , 2C057AG84 , 2C057AG98 , 2C057AP02 , 2C057AP22 , 2C057AP25 , 2C057AP54 , 2C057BA03 , 2C057BA14

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