特許

J-GLOBAL ID：200903074073926032

基板交換装置および基板管理コード読み取り機構

発明者： 小山 慶博
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-202846
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019720
出願日： 1998年07月03日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】 管理コード読み取り速度を向上させ、基板交換速度を上げる。【解決手段】 基板カセットをカセットキャリア内に鉛直方向に積み重ねて収納し、かつ該カセットキャリア内から取り出すカセット出し入れ機構と、基板カセットのキャリア出入口側側面に付された基板管理コードを読み取るコード読み取り機構とを有する基板交換装置において、コード読み取り機構を前記カセット出し入れ機構と相対的に鉛直方向に移動する上下移動機構を設ける。

請求項（抜粋）：

基板カセットをカセットキャリア内に鉛直方向に積み重ねて収納し、かつ該カセットキャリア内から取り出すカセット出し入れ機構と、基板カセットのキャリア出入口側側面に付された基板管理コードを読み取るコード読み取り機構と、該コード読み取り機構を前記カセット出し入れ機構と相対的に鉛直方向に移動する上下移動機構とを具備することを特徴とする基板交換装置。

IPC (4件)：

G03F 1/14 ,  G03F 1/08 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/68

FI (4件)：

G03F 1/14 M ,  G03F 1/08 R ,  H01L 21/68 A ,  H01L 21/30 502 J

Fターム (11件)：

2H095BE04 ,  2H095BE11 ,  2H095BE12 ,  5F031AA02 ,  5F031AA10 ,  5F031BB01 ,  5F031EE12 ,  5F031GG12 ,  5F031GG19 ,  5F031KK04 ,  5F046CD04