特許
J-GLOBAL ID：200903074078751494
炭化水素ガスセンサ並びにその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-212971
公開番号（公開出願番号）：特開平10-082755
出願日： 1997年08月07日
公開日（公表日）： 1998年03月31日
要約：
【要約】【課題】 混合されている多種のガスのうち炭化水素ガスだけを効率よく選択して感知する炭化水素ガスセンサ及びその製造方法を提供する。【解決手段】 基板上に形成された電極上に炭化水素ガスだけを感知する感知層を形成し、その感知層上に還元性ガスと反応するオーバーコーティング層を形成する。【作用】 多種のガスの中の還元性ガスはオーバーコーティング層で反応して除去され、残りのガス中の炭化水素ガスだけが感知層で感知されて電極を介して出力する。
請求項（抜粋）：
基板の下側に発熱手段のヒータを形成する段階と、前記基板の上側に電極を形成する段階と、前記電極上に炭化水素だけを感知する感知層を形成する段階と、前記感知層上に還元性ガスと反応するオーバーコーティング層を形成する段階と、を備えることを特徴とする炭化水素ガスセンサの製造方法。
引用特許：
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