特許

J-GLOBAL ID：200903074079049653

現像液の現像活性の制御方法及び自動制御装置

発明者： 上村 元宏 ,  細見 周平 ,  佐川 義雄 ,  加山 周二
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 土井 育郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-397490
公開番号（公開出願番号）：特開2002-196503
出願日： 2000年12月27日
公開日（公表日）： 2002年07月12日
要約：

【要約】【課題】 現像液を消耗させることなく現像液上で容易に、且つリアルタイムで現像活性を推定することが可能であり、常に最適な現像条件を保つことが可能な現像活性の制御方法及び制御装置を提供する。【解決手段】 任意の現像液について濃度スケールを用いた濃度値の測定並びに伝導度及び吸光度の測定をして濃度値に対応する伝導度対吸光度のグラフを作製し、現像活性に対応する有効な伝導度及び吸光度の領域を決定する。現像作業前又は現像作業中の現像液の伝導度及び吸光度を測定し、その測定結果に基づき伝導度対吸光度のプロットが前記有効領域内に位置するように現像液または水を補充する。

請求項（抜粋）：

多数の現像液について該現像液に濃度スケールを浸漬し濃度スケールの所定点の濃度を濃度計で測った濃度値及びその現像液の伝導度及び吸光度を測定して前記濃度値に対応する伝導度対吸光度のグラフを作製し、現像活性に対応して有効な伝導度及び吸光度の範囲を決定し、現像作業前又は現像作業中に現像液の伝導度及び吸光度を測定し、この測定結果に基づき伝導度対吸光度のプロットが前記有効領域内に位置するように現像液または水を補充することを特徴とする現像液の現像活性の制御方法。

IPC (6件)：

G03F 7/30 501 ,  G03D 3/00 ,  G03D 3/06 ,  G03F 7/26 501 ,  G03F 7/32 ,  G01N 21/27

FI (6件)：

G03F 7/30 501 ,  G03D 3/00 J ,  G03D 3/06 A ,  G03F 7/26 501 ,  G03F 7/32 ,  G01N 21/27 F

Fターム (13件)：

2G059AA01 ,  2G059BB04 ,  2G059EE01 ,  2G059MM12 ,  2H096AA06 ,  2H096GA02 ,  2H096GA60 ,  2H096LA30 ,  2H098BA14 ,  2H098DA16 ,  2H098DA23 ,  2H098DA28 ,  2H098EA03