特許

J-GLOBAL ID：200903074082508723

表面欠陥検査装置

発明者： 澤住 庸生 ,  崎野 和弘 ,  中村 幸登 ,  別所 邦洋
出願人/特許権者： コニカ株式会社
代理人 (1件)： 荒船 博司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-292015
公開番号（公開出願番号）：特開2003-098100
出願日： 2001年09月25日
公開日（公表日）： 2003年04月03日
要約：

【要約】【課題】 地合ノイズ相当の信号を検出し、この地合ノイズ相当の信号の量や周波数等の特徴を分析することが可能となる表面欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】 ウェブaに光を投光させて、この透過光を受光するとともに、この受光部からの出力信号によって、ウェブaの表面の検査を行う表面欠陥検査装置1において、ウェブaの表面欠陥を検出するための表面欠陥信号検出手段と、地合ノイズ相当の信号を検出するための地合ノイズ信号検出手段と、を備えておく。特に地合ノイズ信号検出手段としては、地合ノイズ相当の信号を検知するための地合ノイズ信号検知コンパレータ9を備えるとともに、地合ノイズ相当の信号の振幅実効値や長手方向の変化率等を算出したりする。加工設備の異常や条件の変動が現れる地合ノイズ相当の信号を分析することにより、写真フィルム等のウェブaを連続搬送して加工する生産工程にフィードバックすることが可能となる。

請求項（抜粋）：

ウェブの表面欠陥を検査するために、投光部からウェブに向けて投光される光の透過光もしくは反射光を受光部において受光するとともに、この受光部からの出力信号によって表面欠陥を検知する表面欠陥検査装置において、前記出力信号の中からウェブの表面欠陥相当の信号を検出するための表面欠陥信号検出手段と、前記出力信号の中から地合ノイズ相当の信号を検出するための地合ノイズ信号検出手段と、を備えていることを特徴とする表面欠陥検査装置。

Fターム (9件)：

2G051AA41 ,  2G051AB07 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA11 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051EC04