特許
J-GLOBAL ID：200903074084312141
光スポット検査装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
渡辺 秀治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-054285
公開番号（公開出願番号）：特開2001-243654
出願日： 2000年02月29日
公開日（公表日）： 2001年09月07日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 切り換え手段により複数の顕微鏡対物レンズを切り換える際のピント調整を容易にする光スポット検査装置を提供する。【解決手段】 ディスク読み取り装置1の光源2から照射され所定の光学系3(31,32,33,5)を介して合焦される光スポット形状を顕微鏡対物レンズ部110,111を用いて観察することにより、情報記録媒体となるディスク6の記録面6a近傍に合焦される光スポットの形状を検査する光スポット検査装置10において、光源2から照射される光の光軸X上の異なる位置に形成される複数の光スポット形状をそれぞれ観察するための各顕微鏡対物レンズ部110,111のうちの一方(110)をスペーサー113を介して、他方(111)をスペーサーを介さずに切り換え手段112に保持している。この切り換え動作により各顕微鏡対物レンズ部の焦点位置が光軸X上の各光スポット形成位置p1,p2の微調整範囲に入る。
請求項（抜粋）：
情報記録媒体となるディスクの保護層と同質の層を備えた光学基板がディスク読み取り装置と顕微鏡光学系の間に備えられ、上記ディスク読み取り装置の光源から照射され所定の光学系を介して合焦される光スポット形状を上記顕微鏡光学系を用いて観察することにより、情報記録媒体となるディスクの記録面近傍に合焦される光スポットの形状を検査する光スポット検査装置において、上記光源から照射される光の光軸上の異なる位置に形成される複数の光スポット形状をそれぞれ観察するために顕微鏡対物レンズを複数保持し、かつこれら複数の顕微鏡対物レンズのうちの少なくとも1つをスペーサーを介して保持すると共に、上記各顕微鏡対物レンズを切り換えることでそれぞれを上記光軸上に配置させる切り換え手段を備え、この切り換え手段による上記各顕微鏡対物レンズの切り換え動作により上記各顕微鏡対物レンズの焦点位置が上記光軸上の各光スポット形成位置の微調整範囲に入るように構成されたことを特徴とする光スポット検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (11件)：
2H052AB22
, 2H052AD33
, 2H052AF02
, 2H052AF22
, 5D119AA41
, 5D119BA01
, 5D119BB01
, 5D119BB04
, 5D119DA20
, 5D119JA49
, 5D119PA02
