特許

J-GLOBAL ID：200903074093247484

位置決め装置、露光装置及び露光方法

発明者： 山崎 俊洋
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-378817
公開番号（公開出願番号）：特開2003-178957
出願日： 2001年12月12日
公開日（公表日）： 2003年06月27日
要約：

【要約】【課題】 高いレーザ干渉計波長補正精度を実現し、高いステージ位置決め精度を得る。【解決手段】 移動体であるステージ103,106の第1移動方向であるX方向の位置を計測する複数の位置計測手段としてレーザ干渉計111,112を有し、ステージ103,106のX移動方向と直交するY移動方向の該ステージ103,106の位置に基づいてX移動方向のレーザ干渉計111,112から特定のレーザ干渉計を選択して該ステージ103,106の位置を計測し、レーザ干渉計111,112のうち選択されていないレーザ干渉計を計測補正手段にして計測補正をする。

請求項（抜粋）：

移動体の第1移動方向の位置を計測する複数の位置計測手段を有し、前記移動体の第1移動方向と直交する第2移動方向の該移動体の位置に基づいて第1移動方向の複数の位置計測手段から特定の位置計測手段を選択して該移動体の位置を計測する位置決め装置において、前記複数の位置計測手段のうち選択されていない位置計測手段を計測補正手段にすることを特徴とする位置決め装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G01B 21/00 ,  G03F 9/00

FI (5件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 21/00 D ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 516 B ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (26件)：

2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065CC00 ,  2F065EE00 ,  2F065FF51 ,  2F065GG04 ,  2F065LL12 ,  2F065LL30 ,  2F069AA03 ,  2F069AA06 ,  2F069BB40 ,  2F069EE00 ,  2F069GG04 ,  2F069GG07 ,  2F069GG12 ,  2F069GG14 ,  2F069GG65 ,  2F069HH09 ,  2F069MM24 ,  2F069MM26 ,  2F069MM34 ,  5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16