特許

J-GLOBAL ID：200903074096864042

エッチング加工性に優れたシャドウマスク用金属薄板

発明者： 井上 正 ,  吉沢 秀和 ,  鶴 清 ,  大北 智良 ,  清水 義明
出願人/特許権者： 日本鋼管株式会社
代理人 (1件)： 白川 一一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-032939
公開番号（公開出願番号）：特開平5-202490
出願日： 1992年01月24日
公開日（公表日）： 1993年08月10日
要約：

【要約】【目的】 エッチング加工性に優れ、エッチングファクターが高く、フラットマスクの明るさにおいて卓越すると共にフラットマスクのムラ品位にも優れたシャドウマスク用Fe-Ni系インバー合金薄板を提供する。【構成】 FeとNiを主成分とするインバー合金であって、合金板表面の{331},{210},{211}結晶面の集積度がそれぞれ{331}≦14,{210}≦10,{211}≦10であって、かつ{210}/〔{331}+{211}〕=0.2〜1.0である。

請求項（抜粋）：

FeおよびNiを主成分とするFe-Ni系インバー合金からなり、しかも合金板表面への{331}、{210}、{211}の各結晶面の集積度がそれぞれ下表の値を示し、かつそれらの比率{210}/〔{331}+{211}〕が0.2〜1.0であることを特徴とするエッチング加工性に優れたシャドウマスク用金属薄板。

IPC (2件)：

C23F 1/00 ,  H01J 29/07