特許
J-GLOBAL ID：200903074098939490
加速度計装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅村 皓 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136999
公開番号（公開出願番号）：特開平5-164777
出願日： 1992年05月28日
公開日（公表日）： 1993年06月29日
要約：
【要約】【目的】 特に自動車安全エアバッグ応用に使用するようにされた加速度計装置を提供する。【構成】 加速度計装置は導電回路、信号調整回路部品を有し加速度計ユニットが搭載された電気絶縁基板を具備し、基板は凾体内の3本のピンにより適所に固定される。加速度計はシリコン本体内を一体型シリコン支持体に対して移動できて加速に応答してシリコン本体内に歪を生じるシリコン塊を具備し、歪に応答して加速度に対応する電気信号を生じる圧電抵抗センサーがシリコン本体内に形成されている。温度変化に遭遇する間シリコン本体と基板間の熱膨張の違いによりシリコン本体に生じる歪から絶縁して圧電抵抗センサーを回路に接続しながら、選定構成および熱応答特性を有する部材が加速度計を基板上に吊着する。
請求項（抜粋）：
導電性回路が設けられかつ開口を有する電気絶縁基板と、シリコン本体内で一体型のシリコン支持体に対して移動できて加速に応答してシリコン本体内に歪を生じるシリコン塊および歪に応答して加速度に対応する電気信号を生じる圧電抵抗センサーを有する加速度計と、圧電抵抗センサーを回路に電気的に接続する手段と、回路と電気的に接続された基板上に搭載されて電気信号を調整する回路部品と、両端が基板に接続され両端間にプラットフォームを有し折畳み板ばね部がプラットフォームと部材の各端間に延在していてプラットフォームを基板開口内に配置する部材を具備する加速度計装置において、前記部材は実質的にシリコンの熱膨張係数に対応する選定された熱膨張係数を有する材料で形成され部材の折畳み板ばね部の構造と協働して温度変化に遭遇する間にシリコン本体と基板の熱膨張の違いによりシリコン本体内に生じる歪から圧電抵抗センサーを遮蔽してなる加速度計装置。
IPC (2件)：
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