特許
J-GLOBAL ID：200903074099971958
3次元形状測定における被測定物回転中心位置の算出方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岸本 瑛之助 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-236990
公開番号（公開出願番号）：特開平6-082225
出願日： 1992年09月04日
公開日（公表日）： 1994年03月22日
要約：
【要約】【目的】 被測定物ステージの回転中心軸の位置を簡単にかつ正確に算出し、被測定物全体の断面形状データおよび3次元形状データを正確に求めることができるようにする。【構成】 正四角柱状の基準部材6を被測定物ステージ1に固定し、基準部材6の1つの稜線E1を挟む2つの直交側面S1、S2にスリット光7を照射して、側面S1、S2に形成される光切断線8をテレビカメラ9で撮像し、画面座標系における光切断線像の屈曲点の2次元画像データを測定座標系における2次元形状データに変換することにより、稜線E1の測定座標系における座標値を算出し、被測定物回転中心軸を中心にステージ1を90度ずつ回転させて、基準部材6の残りの3つの稜線E2、E3、E4について上記の測定座標系における座標値の算出を行い、このようにして求めた4つの稜線E1、E2、E3、E4の測定座標系における座標値を用いて、測定座標系における被測定物回転中心軸の位置を算出する。
請求項（抜粋）：
被測定物ステージに固定した被測定物にスリット光源装置からスリット光を照射し、このスリット光が被測定物の表面に当たって形成される光切断線を2次元撮像装置で撮像し、2次元撮像装置の画面座標系における光切断線像の2次元画像データを、変換位置データを用いて、スリット光面を含む測定座標系における光切断線の2次元形状データに変換し、スリット光面と直交する一定の被測定物回転中心軸を中心に被測定物ステージを一定のステップ角度ずつ複数ステップ回転させて、各回転ステップ位置において、上記の2次元画像データから2次元形状データへの変換を行い、このようにして得られた複数の2次元形状データから、スリット光面における被測定物の断面形状データを合成し、上記被測定物回転中心軸の方向に被測定物ステージを一定のステップ長さずつ複数ステップ移動させて、各移動ステップ位置において、上記の断面形状データの合成を行い、このようにして得られた複数の断面形状データから、被測定物の3次元形状データを合成する3次元形状測定を行うに際し、測定座標系における被測定物回転中心軸の位置を算出する方法であって、1辺の長さが既知である正四角柱状の基準部材を、その中心軸が被測定物回転中心軸の近傍に位置して被測定物回転中心軸と平行になるように、被測定物ステージに固定し、基準部材の正四角柱の1つの稜線を挟む2つの直交側面にスリット光が照射されるように被測定物ステージを停止させた状態で、これら2つの直交側面に形成される光切断線を2次元撮像装置で撮像し、画面座標系における光切断線像の屈曲点の2次元画像データを測定座標系における2次元形状データに変換することにより、上記稜線の測定座標系における座標値を算出し、被測定物回転中心軸を中心に被測定物ステージを90度ずつ回転させて、基準部材の正四角柱の残りの3つの稜線について上記の測定座標系における座標値の算出を行い、このようにして求めた4つの稜線の測定座標系における座標値を用いて、測定座標系における被測定物回転中心軸の位置を算出することを特徴とする3次元形状測定における被測定物回転中心位置の算出方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G06F 15/62 415
, G06F 15/64
