特許

J-GLOBAL ID：200903074110945034

複合型回折光学素子

発明者： 神谷 攻
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-129628
公開番号（公開出願番号）：特開平11-305021
出願日： 1998年04月23日
公開日（公表日）： 1999年11月05日
要約：

【要約】【課題】 比較的低屈折率高分散又は高屈折率、低分散誘電体薄膜材料を薄膜混合物により実現する。【解決手段】 合成膜5の上に型6を使用して樹脂の格子7を形成し、これをドライエッチングすることで樹脂の格子形状を成膜した膜8に転写する。この格子形状を形成した基板2に、光学定数がマッチングする硝子又は合成樹脂9を型10を使用して成形することにより、格子面が内蔵された平滑な色消し複合型回折レンズを実現する。

請求項（抜粋）：

回折作用を発現する微小な周期的構造と、使用波長領域の光束が特定次数に集中する格子構造とを有し、少なくとも2種類以上の分散の異なる材質から成る回折格子を重ね合わせた複合回折光学素子において、第1の回折格子を少なくとも2種類以上の混合材料から成膜手段により形成し、その上に第2の回折格子を前記第1の回折格子の格子溝の深さが埋まるように成形し表面を平滑化したことを特徴とする複合型回折光学素子。