試験中の装置を調査し、測定装置に相互接続する複合スイッチングマトリックス

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外2名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-526825
公開番号（公開出願番号）：特表2002-500433
出願日： 1998年12月18日
公開日（公表日）： 2002年01月08日
要約：

【要約】複合スイッチングマトリックス(30)は、抵抗測定システム(20)およびレーザ(22)と協働し、抵抗(12)を、これらが測定されている間に、予め決められた値にすばやく正確にトリミングする。前記複合スイッチングマトリックスをドライリードリレー(34-81,101-164)によって実現し、前記複合スイッチングマトリックスは、保護ありまたはなしで、2、3または4端子測定を実現するためにプローブあたりで必要なリレー接点の平均数を減らすプローブスイッチングマトリックス(90-97)および構成マトリックス(32)を含む。さらに、前記別個のプローブスイッチングマトリックスおよび測定構成マトリックスは、前記測定のハイ側およびロウ側を有効に分離し、漂遊抵抗およびキャパシタンスの測定速度および精度への影響を低減する。切り替え可能接地構成(82-89)は、測定精度をさらに改善する。本発明の複合スイッチングマトリックスは、前記アレイにおける個々の抵抗の、0.1オーム以下から100メガオーム以上まで変化する値を有する抵抗に適合している2、3および4端子測定構成による連続的な抵抗測定を可能にする。

請求項（抜粋）：

装置の集合を測定装置における端子の集合に相互接続する複合スイッチングマトリックス装置において、前記装置の集合と接触するプローブの集合と、前記プローブの集合をマトリックス間導体の集合に選択的に相互接続するプローブマトリックスリレーの集合と、前記測定システムにおける端子の集合を前記マトリックス間導体の集合に選択的に相互接続する構成マトリックスリレーの集合と、前記測定システムに相互接続された前記装置の選択されたものを、前記測定システムによって測定されるように予め決められた値にトリミングするレーザとを具えることを特徴とする複合スイッチングマトリックス装置。

IPC (4件)：

H01C 17/22 , G01R 31/00 , H01H 47/00 , H01H 67/24

FI (4件)：

H01C 17/22 D , G01R 31/00 , H01H 47/00 B , H01H 67/24

Fターム (8件)：

2G036AA19 , 2G036AA21 , 2G036BB04 , 2G036BB07 , 2G036BB22 , 5E032BB01 , 5E032CC18 , 5E032TB02

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-234001
特開昭59-073779

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