特許
J-GLOBAL ID：200903074118651722
偏芯調整装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-162357
公開番号（公開出願番号）：特開平6-004891
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1994年01月14日
要約：
【要約】【目的】円盤状物体1の中心とその表面に形成されるパターンの中心がずれがあっても回転機構部2の回転中心と芯合せをすることが出来る。【構成】測定時、光ディスク原盤などの円盤状物体1を保持し回転する回転機構部2に装着し回転した状態で、レーザ発振器3から円盤状物体1に形成されたパターン上にレーザビーム4を照射する。そして円盤状物体1に形成されたパターンによって回折する1次回折光5を光位置センサ部で捕捉し、偏芯量算出部7は受光位置信号aの変化量が小さくなるよう偏芯量補正信号bを出力し位置調整部8は偏芯量補正信号bによって円盤状物体1を移動し回転機構部2の回転中心と円盤状物体1上のパターン中心との偏芯を調整する。
請求項（抜粋）：
同心円状あるいはスパイラル状に等ピッチでパターンが形成される円盤状物体を保持し回転する回転機構部と、この円盤状物体上にレーザビームを照射する光学系と、前記円盤状物体のパターン面上からの1次回折光を受光し受光位置を出力する光位置センサ部と、この光位置センサ部の受光位置信号から前記回転機構部の回転中心と前記円盤状物体に形成されたパターン中心との偏芯量を算出し偏芯補正信号を出力する偏芯量算出部と、該偏芯量算出部からの偏芯補正信号によって前記回転機構部上での前記円盤状物体の位置を調整する位置調整部とを備えることを特徴とする偏芯調整装置。
IPC (2件)：
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