走査型プローブ顕微鏡

発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-307737
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166396
出願日： 1994年12月12日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】カンチレバを常に一定の振幅で振動させることのできる原子間力顕微鏡を提供する。【構成】カンチレバ5の振動の変化は、光検出器9で検出される反射光L の位置の変化により求められる。光検出器9の検出出力からバンドパスフィルタ12においてカンチレバ5の固有振動数付近の周波数成分が取り出され、波形変換器19へ送られて振幅が一定の方形波の信号に変換される。この方形波信号は、振幅調整回路20において適宜な振幅が与えられ、位相調整回路13を介してピエゾ素子7へ駆動信号として供給されると共にF-V変換器14へ供給され、周波数に応じた電圧信号Vfvに変換される。このVfvと基準電圧Vfvo との差信号が基準電圧比較器15において求められ、この差信号が帰還信号としてZスキャナ駆動回路17へ供給される。

請求項（抜粋）：

一端が固定されたカンチレバと、該カンチレバの他端に固定された探針と、前記カンチレバの変位を検出する変位検出器と、該変位検出器の出力を特定の振幅を有する波形信号に変換する波形変換器と、該波形変換器の出力の振幅を変化させる振幅調整回路と、該振幅調整回路の出力に基づき前記カンチレバを振動させる手段とを備えた走査型プローブ顕微鏡。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , H01J 37/28

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