特許

J-GLOBAL ID：200903074123151690

傾き検出方法及び装置

発明者： 菅 恭正
出願人/特許権者： 住友重機械工業株式会社
代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-001800
公開番号（公開出願番号）：特開2002-206920
出願日： 2001年01月09日
公開日（公表日）： 2002年07月26日
要約：

【要約】【課題】 簡単な構成で、測定面の傾きを精度良く測定する。【解決手段】 測定面(20)に対して、傾きを検出したい面内で複数本の平行ビーム24、26を近接照射し、照射方向とは異なる方向から反射光を受光した時の受光点P1、P2の間隔Pnに基づいて、測定面の傾きを検出する。

請求項（抜粋）：

測定面に対して複数本の平行ビームを照射し、照射方向とは異なる方向から反射光を受光した時の受光点の間隔に基づいて、測定面の傾きを検出することを特徴とする傾き検出方法。

IPC (3件)：

G01B 11/26 ,  G01C 9/06 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01B 11/26 Z ,  G01C 9/06 A ,  H01L 21/30 526 B

Fターム (20件)：

2F065AA35 ,  2F065BB01 ,  2F065BB25 ,  2F065CC19 ,  2F065CC25 ,  2F065DD02 ,  2F065FF09 ,  2F065GG06 ,  2F065GG13 ,  2F065HH04 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ08 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065QQ28 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05 ,  5F046DB05