特許
J-GLOBAL ID:200903074124992680

流量計

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 藤島 洋一郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-126017
公開番号(公開出願番号):特開平8-240468
出願日: 1995年04月26日
公開日(公表日): 1996年09月17日
要約:
【要約】【目的】 広い流量範囲で流量を計測できるようにする。【構成】 小流量時には、主弁41が開口部16を覆い且つ副弁45が孔42を開放した状態になり、入口部11から取り入れられた気体は小流量計測用流路17を流れ、小流量計測用流路17内に設けられた流速センサ18の出力に基づいて流量および積算流量が計測される。大流量時には、主弁41が開口部16を開放した状態になり、気体は流路15全体を流れ、流路15内に設けられた複数の流速センサ291 ,292 ,293 によって検出される流速の平均値に基づいて流量および積算流量が計測される。
請求項(抜粋):
流体が通過する大流量計測用の第1の流路と、この第1の流路内に設けられた小流量計測用の第2の流路と、前記第1の流路を通過する流体の流量に応じた信号を出力する第1の流量計測部と、前記第2の流路を通過する流体の流量に応じた信号を出力する第2の流量計測部と、前記第2の流路の上流側に設けられ、流体が第1の流路全体を通過する状態と流体が第2の流路を通過する状態と第1の流路全体が閉じられた状態とを選択可能な遮断弁と、前記第1の流量計測部の出力と前記第2の流量計測部の出力の少なくとも一方に基づいて流量を算出する流量演算手段と、この流量演算手段によって算出された流量に応じて前記遮断弁を制御する弁制御手段とを備えたことを特徴とする流量計。
IPC (3件):
G01F 7/00 ,  G01F 1/20 ,  G01F 15/075
FI (3件):
G01F 7/00 ,  G01F 1/20 E ,  G01F 15/075

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