特許

J-GLOBAL ID：200903074127847230

光デバイスおよび集積回路

発明者： ウトゥパル クマル チャクラバーティ ,  ウィリアム ヘンリ グロドキエウィッツ ,  ピン ウー
出願人/特許権者： ルーセント テクノロジーズ インコーポレイテッド
代理人 (1件)： 三俣 弘文
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-323537
公開番号（公開出願番号）：特開平10-173295
出願日： 1997年11月25日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】 非密封型半導体レーザの被覆12、14において、反射修正機能および不動態化機能を単一層により提供する。【解決手段】 被覆12、14は、タンタルおよびアルミニウムの酸化物からなる。活性領域20の屈折率をn<SB>eff</SB>、活性領域を包囲する媒質28の屈折率をn<SB>e</SB><SB>nc</SB>として、被覆12、14の屈折率n<SB>ox</SB>は(n<SB>eff</SB>n<SB>enc</SB>)<SP>1/2</SP>に等しく、被覆12、14の厚さはλ/4n<SB>ox</SB>に等しい。λはレーザ光の波長である。被覆12、14の酸化物の化学式は(Al<SB>2</SB>O<SB>3</SB>)<SB>x</SB>(Ta<SB>2</SB>O<SB>5</SB>)<SB>1-x</SB>(0<x≦0.8)である。タンタル-アルミニウム酸化物被覆は、イオン補助電子ビーム堆積法によって製造される。この方法では、デバイスサンプルと、イオンビームおよび蒸着物質ビームは相互に回転し、蒸着物質は堆積中常にサンプルに入射するが、イオンは一部の時間しか入射しない。

請求項（抜粋）：

半導体材料の領域(20,22,24)と、前記領域上に形成された被覆(12,14)と、前記被覆に隣接し光が伝播する媒質(28)とからなる能動光デバイスにおいて、前記被覆はタンタルおよびアルミニウムの酸化物の単一層からなることを特徴とする光デバイス。

IPC (3件)：

H01S 3/18 ,  G02B 1/11 ,  H01L 33/00

FI (3件)：

H01S 3/18 ,  H01L 33/00 B ,  G02B 1/10 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭56-149001
  
• 特開昭48-017973
  
• イメージセンサ用窓ガラス
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-096302   出願人：東芝硝子株式会社
• 特開昭55-070033