特許

J-GLOBAL ID：200903074131611403

グロー放電プラズマ発生用電極及びこの電極を用いた反応装置

発明者： 岡崎 幸子 ,  小駒 益弘 ,  上原 真 ,  木村 剛久
出願人/特許権者： 株式会社きもと ,  岡崎 幸子 ,  小駒 益弘
代理人 (1件)： 杉山 一夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-253481
公開番号（公開出願番号）：特開平6-119995
出願日： 1992年08月31日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 大気圧以上の気圧においてグロー放電を発生させることができなかったガスをも高周波のみならず低周波においても均一かつ安定にグロー放電を発生させることができるグロー放電プラズマ発生用電極を備えた反応装置を提供する。【構成】 大気圧以上の気相内に設ける電極2として、プラズマ発生用気体の種類に応じて線径が0.01〜0.5mm太さの金属細線で構成した金網を用い、金網上に誘電体を接触固定する。反応装置は、反応容器1内の大気圧以上の気相内に電極を対向させ、電極間に電源8から電圧を印加してグロー放電を発生させる。対向する電極の少なくとも一方を、グロー放電プラズマ発生用電極2で構成した。グロー放電プラズマ発生用電極2は、導電板5a、5bにプラズマ発生用気体の種類に応じた線径の金属細線で構成した金網6a、6bを接触固定し、金網6a、6bに誘電体7a、7bを設けてなる。

請求項（抜粋）：

大気圧以上の気圧の気相内に設置する電極として、プラズマ発生用気体の種類に応じて線径が0.01〜0.5mm太さの金属細線で構成した金網を用い、この金網上に誘電体を設けてなることを特徴とするグロー放電プラズマ発生用電極。

IPC (6件)：

H05H 1/46 ,  B01J 19/08 ,  C23C 16/50 ,  H01J 17/40 ,  H01J 37/32 ,  C23F 4/00