特許
J-GLOBAL ID：200903074131741790
クラスター生成装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
茂見 穰
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-206418
公開番号（公開出願番号）：特開平5-025614
出願日： 1991年07月23日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】 金属や酸化物も使用でき、不純物の混入がなく高純度のクラスターを生成する。発生するクラスターの大きさを制御でき、任意の大きさのクラスターを連続的に生成でき、また大きさを確証できるようにする。【構成】 共に排気系を接続した試料蒸気発生室10とクラスター生成室30と質量分析室50をスキマー40,60を介して連結した横型ガスフローチューブ構造である。試料ロッド14にレーザビーム16を照射して生じる試料蒸気と、導入したキャリアガス及び反応性ガスを、スキマーを通してクラスター生成室へ噴出させ、その際の断熱膨張を利用してクラスターを生成させる。クラスター生成室内にはマスフィルタ34を設け、質量分析室には質量分析器を設ける。
請求項（抜粋）：
共に排気系を接続した試料蒸気発生室とクラスター生成室とがスキマーを介して連結され、前記試料蒸気発生室は、試料ロッドを前進回転自在に支持する前進回転駆動機構と、該試料ロッド表面へのレーザビーム照射により試料を蒸発させるためのレーザ照射窓と、キャリアガス及び反応ガスを流入させるガス供給系を具備しており、前記試料蒸気発生室で生じる試料蒸気とキャリアガス及び反応性ガスを前記スキマーを通してクラスター生成室へ噴出させて、その際の断熱膨張を利用してクラスターを生成させるようにしたことを特徴とするクラスター生成装置。
IPC (2件)：
引用特許：
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