照明光学装置

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-019098
公開番号（公開出願番号）：特開平6-196389
出願日： 1993年02月05日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：

【要約】【目的】高い照明効率のもとで、被照明面を円弧状もしくは長方形状に均一照明ができる高性能な照明光学装置の実現にある。【構成】光束断面が長方形状の平行光束を供給する光供給手段(10,20) と、該光供給手段(10,20) からの光束よりほぼ長方形状又はほぼ直線状に配列される複数の光源像を形成する第1多光源像形成手段30と、該第1多光源像形成手段30からの光束よりほぼ正方形状又はほぼ円形状に配列される複数の光源像を形成する第2多光源像形成手段50と、該第2多光源像形成手段50からの光束を集光して被照射面を照明するコンデンサー光学系60と、前記第1及び第2多光源像形成手段(30,50) との間に配置されて前記第1多光源像形成手段30により形成される光源像位置と前記第2多光源像形成手段50により形成される光源像位置とを共役にするためのリレー光学系40とを有する。

請求項（抜粋）：

光束断面が長方形状の平行光束を供給する光供給手段と、該光供給手段からの光束よりほぼ長方形状又はほぼ直線状に配列される複数の光源像を形成する第1多光源像形成手段と、該第1多光源像形成手段からの光束よりほぼ正方形状又はほぼ円形状に配列される複数の光源像を形成する第2多光源像形成手段と、該第2多光源像形成手段からの光束を集光して被照射面を照明するコンデンサー光学系と、前記第1及び第2多光源像形成手段との間に配置されて前記第1多光源像形成手段により形成される光源像位置と前記第2多光源像形成手段により形成される光源像位置とを共役にするためのリレー光学系とを有することを特徴とする照明光学装置。

IPC (4件)：

H01L 21/027 , G03B 27/32 , G03B 27/54 , G03F 7/20 521

引用特許：

審査官引用 (17件)

特開昭62-002540
特開平2-048627
特開平1-259533

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