特許
J-GLOBAL ID：200903074137025654
ウェーハ直径・断面形状測定装置 及びそれを組み込んだウェーハ面取り機
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-023582
公開番号（公開出願番号）：特開平7-218228
出願日： 1994年01月27日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ウェーハの直径と断面形状を一度に測定できるウェーハ直径・断面形状測定装置を提供するとともに、それを組み込むことによって、ウェーハを加工機から取り出さなくても短時間でウェーハ面取りの加工条件の調整を可能にするウェーハ面取り機を提供する。【構成】 ウェーハの中心とオリフラ位置を決める姿勢制御部30と、ウェーハを吸着固定するとともに回動及び上下自在なウェーハテーブル21と、ウェーハの断面形状を検出する形状検出器と、形状検出器をウェーハテーブル21の方向に駆動するとともにその移動量を検出する測定機構部70と、形状検出器で検出されたデータからウェーハの断面形状を算出する画像処理部91と、画像処理部91からの信号と形状検出器86の移動量によってウェーハの直径を算出する寸法演算部96と、からウェーハ直径・断面形状測定装置を構成した。
請求項（抜粋）：
ウェーハの中心とオリエンテーションフラットの位置を決める姿勢制御部と、前記中心とオリエンテーションフラットの位置を決められたウェーハを真空等で吸着固定するとともに、回動及び上下自在なウェーハテーブルと、ウェーハの断面形状を検出する形状検出器と、前記形状検出器を前記ウェーハテーブルの方向に駆動するとともに、前記形状検出器の移動量を検出する移動量検出手段を備えた測定機構部と、前記形状検出器で検出されたデータからウェーハの断面形状を算出する画像処理部と、前記画像処理部からの信号と前記移動量検出手段からの信号によってウェーハの直径を算出する寸法演算部と、から構成されたことを特徴とするウェーハ直径・断面形状測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G06T 7/00
, H01L 21/66
