特許

J-GLOBAL ID：200903074138223280

マイクロフアブリペロー共振器

発明者： 山岸 秀章 ,  尾上 寧 ,  蒲原 敦彦 ,  上村 敬司
出願人/特許権者： 横河電機株式会社
代理人 (1件)： 小沢 信助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-312636
公開番号（公開出願番号）：特開平5-149788
出願日： 1991年11月27日
公開日（公表日）： 1993年06月15日
要約：

【要約】【目的】 予め複数のギャップを形成しておくことにより構成の簡単なマイクロフアブリペロー共振器を提供する。【構成】 所定の波長を透過する平行平板からなる第1板体1と,基準面からの深さが異なる複数の段差を有すると共に所定の波長を透過する第2板体2からなり,前記第2板体2の基準面(C)に前記第1板体1を固着して長さの異なる複数の段差を有する共振空間3を形成する。

請求項（抜粋）：

所定の波長を透過する平行平板からなる第1板体と,基準面からの深さが異なる複数の段差を有すると共に所定の波長を透過する第2板体からなり,前記第2板体の基準面に前記第1板体を固着して長さの異なる複数の段差を有する共振空間を形成したことを特徴とするマイクロフアブリペロー共振器。