特許
J-GLOBAL ID：200903074140134120
自己修復性硬質固体潤滑膜及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 勝成 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-037260
公開番号（公開出願番号）：特開平5-208806
出願日： 1992年01月28日
公開日（公表日）： 1993年08月20日
要約：
【要約】【目的】 機械部品等の基材上に工業的に低コストプロセスで形成でき、高硬度でありながら摩擦係数が小さく、ホウ素を含有することによって自己修復性を供えた硬質固体潤滑膜、及びその製造方法を提供する。【構成】 基材上にプラズマCVD法又はイオンプレーティング法により形成され、少なくとも最外表面層がホウ素を3〜50原子%添加したダイヤモンド状炭素又は非晶質炭素からなる、摩擦係数が小さく自己修復性を有する硬質固体潤滑膜。
請求項（抜粋）：
基材上に設けられる硬質固体潤滑膜において、少なくともその最外表面層がホウ素を3〜50原子%添加したダイヤモンド状炭素又は非晶質炭素からなることを特徴とする、自己修復性硬質固体潤滑膜。
IPC (5件)：
C01B 31/02 101
, C23C 14/06
, C23C 14/32
, C23C 16/26
, C30B 29/04
