特許

J-GLOBAL ID：200903074142381310

変倍光学装置

発明者： 小松 宏一郎
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-032803
公開番号（公開出願番号）：特開2003-233010
出願日： 2002年02月08日
公開日（公表日）： 2003年08月22日
要約：

【要約】【課題】 被検物体へのゴミの付着を防ぎつつ、観察倍率を変更しても照明光量の損失なしに照明効率を一定にすることができる変倍光学装置を提供する。【解決手段】 物体面10aと中間像面10bとの間に配置された対物光学系21と、対物光学系と中間像面との間に配置され、物体面に対する中間像面の位置を一定に保ちながら、中間像面に形成される物体面の像の結像倍率を変更する第1変倍手段22〜24,50と、中間像面を間に挟んで物体面の反対側に配置された光源41と、光源と中間像面との間に配置され、光源の像を対物光学系の射出瞳の位置に投影することで、物体面を照明する照明光学系42と、第1変倍手段によって結像倍率が変更されたときに、射出瞳の位置と光源の像の投影位置とを一致させながら、射出瞳と光源の像との大きさの比が一定となるように、照明光学系による光源の像の投影倍率を変更する第2変倍手段とを備える。

請求項（抜粋）：

物体面と中間像面との間に配置された対物光学系と、前記対物光学系と前記中間像面との間に配置され、前記物体面に対する前記中間像面の位置を一定に保ちながら、前記中間像面に形成される前記物体面の像の結像倍率を変更する第1変倍手段と、前記中間像面を間に挟んで前記物体面の反対側に配置された光源と、前記光源と前記中間像面との間に配置され、前記光源の像を前記対物光学系の射出瞳の位置に投影することで、前記物体面を照明する照明光学系と、前記第1変倍手段によって前記結像倍率が変更されたときに、前記射出瞳の位置と前記光源の像の投影位置とを一致させながら、前記射出瞳と前記光源の像との大きさの比が一定となるように、前記照明光学系による前記光源の像の投影倍率を変更する第2変倍手段とを備えたことを特徴とする変倍光学装置。

IPC (6件)：

G02B 21/00 ,  G01N 21/956 ,  G02B 7/02 ,  G02B 7/10 ,  G02B 21/02 ,  G02B 21/06

FI (6件)：

G02B 21/00 ,  G01N 21/956 A ,  G02B 7/02 Z ,  G02B 7/10 Z ,  G02B 21/02 A ,  G02B 21/06

Fターム (49件)：

2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051CA11 ,  2G051CB01 ,  2G051CC09 ,  2G051CC20 ,  2H044AJ06 ,  2H044EF03 ,  2H052AA08 ,  2H052AC07 ,  2H052AC15 ,  2H052AC22 ,  2H052AC23 ,  2H052AC27 ,  2H052AC28 ,  2H052AD29 ,  2H052BA02 ,  2H052BA08 ,  2H052BA11 ,  2H087KA09 ,  2H087LA02 ,  2H087PA02 ,  2H087PA03 ,  2H087PA05 ,  2H087PA17 ,  2H087PB02 ,  2H087PB03 ,  2H087PB05 ,  2H087QA02 ,  2H087QA06 ,  2H087QA07 ,  2H087QA14 ,  2H087QA21 ,  2H087QA26 ,  2H087QA34 ,  2H087QA39 ,  2H087QA41 ,  2H087QA45 ,  2H087RA41 ,  2H087RA45 ,  2H087SA06 ,  2H087SA10 ,  2H087SA13 ,  2H087SA16 ,  2H087SA19 ,  2H087SA63 ,  2H087SB02 ,  2H087SB13 ,  2H087SB23