特許
J-GLOBAL ID：200903074145185016
ICハンドラ
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-115601
公開番号（公開出願番号）：特開平6-334018
出願日： 1993年05月18日
公開日（公表日）： 1994年12月02日
要約：
【要約】【構成】動作コントローラ3が供給エア切替えバルブ12に切替え動作指令を出力してから、ピストンロッド後退端の位置検出センサ5のオフ反応及びピストンロッド前進端の位置検出センサ4のオン反応するまでの経過時間を計測し、正常動作最大時間との比較を行い正常・異常の自己診断を行う機能を有したICハンドラ。【効果】ハンドラの性能低下を検出し、装置停止トラブルを未然に防ぐ効果がある。
請求項（抜粋）：
装置を構成しているシリンダの動作開始遅れ時間と動作時間を計測する機能を有することを特徴とするICハンドラ。
IPC (5件)：
H01L 21/68
, B65G 47/82
, G01R 31/26
, H01L 21/66
, H05K 13/04
