特許

J-GLOBAL ID：200903074152350057

化学物質検知用光学センサ

発明者： ユアン・リウ ,  トーマス・エフ・ステーリン ,  ヴェルナール・プラス ,  小倉 静雄 ,  本杉 賢司 ,  常田 明彦 ,  山本 哲
出願人/特許権者： ヘキストジャパン株式会社
代理人 (1件)： 湯浅 恭三 (外5名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-265265
公開番号（公開出願番号）：特開平6-222006
出願日： 1993年10月22日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】 より高感度で選択性が高く、応答速度が早く、また小型で簡単に構成できる化学物質検知用センサを提供する。【構成】 薄膜を有するセンサ部材及び干渉増幅反射法測定手段を含む気体又は液体の化学物質検知用光学センサ。センサ部材は、平坦な反射用基板及び該基板上にある一又はそれ以上の透明な有機若しくは無機薄膜又は高分子薄膜から成る。薄膜の膨潤或いは薄膜の厚み若しくは屈折率又はその双方の変化によるセンサ部材の反射特性の変化を測定することによって、気体又は液体の化学物質を検知する。

請求項（抜粋）：

薄膜を有するセンサ部材及び干渉増幅反射法測定手段を含む気体又は液体の化学物質検知用光学センサ。

IPC (2件)：

G01N 21/77 ,  G01N 21/41

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-109304
  
• 特開平2-114107
  
• 特開昭62-039744
  
• 特開昭63-234138