特許

J-GLOBAL ID：200903074152448073

データ処理装置

発明者： 清水 俊昭
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 高田 守 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-303076
公開番号（公開出願番号）：特開平5-144941
出願日： 1991年11月19日
公開日（公表日）： 1993年06月11日
要約：

【要約】【目的】 マスクパターンデータから配線等の寄生抵抗を正確に抽出し、抽出された寄生素子と駆動素子との関係から寄生素子の値を評価・判定し、寄生素子のモデルを決定し、最適のシミュレーション用ネットリストの生成を可能するとともに人手の介入を最小限に抑える。【構成】 データ抽出手段3が指定された抽出条件2に従ってマスクパターンデータ1より必要データを抽出し、寄生素子抽出手段4にて、寄生抵抗を抽出し、その結果をもとに判定手段5にて、寄生素子と駆動素子の関係から寄生素子の値を評価・判定して寄生素子モデルを決定し、結果出力手段7にて最適のシミュレーション用ネットリストを生成する。

請求項（抜粋）：

以下の要素を備えたデータ処理装置(a)マスクパターンデータより所定の抽出条件に従って必要なデータを抽出するデータ抽出手段、(b)抽出されたデータより寄生素子を認識し、認識された寄生素子の抵抗値を抽出する寄生素子抽出手段、(c)寄生素子とその寄生素子を駆動する駆動素子の関係より、寄生素子の抵抗値を評価判定する判定手段、(d)上記判定手段による評価判定結果に従って、所定の形式の出力を行なう結果出力手段。

IPC (5件)：

H01L 21/82 ,  G01R 31/28 ,  G06F 11/22 330 ,  G06F 11/26 ,  G06F 15/60 360

FI (2件)：

H01L 21/82 C ,  G01R 31/28 F