特許

J-GLOBAL ID：200903074152612400

試料冷却観察装置

発明者： 大蔵 昭光 ,  佐藤 光則
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  株式会社日立サイエンスシステムズ
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-319951
公開番号（公開出願番号）：特開平9-161707
出願日： 1995年12月08日
公開日（公表日）： 1997年06月20日
要約：

【要約】【課題】-20°C以下の低い温度設定や調整が容易で、大気圧状態から試料観察時の試料室圧力状態に至るまで、任意に長時間温度調整が可能な試料冷却観察装置を提供する。【解決手段】試料3を冷却状態にして観察する手段を有する走査形電子顕微鏡及びその類似装置の試料冷却観察装置において、試料3を載せる部材の近くに、試料温度を調節するための加熱手段20を設け、加熱手段20は、大気圧状態から試料観察時の試料室圧力状態に至るまで、任意に加熱できる部材21で構成する。加熱部材21は、白金線と絶縁物からなる発熱体と、発熱体を遮蔽するケースとで構成するか、または、ニクロム線と絶縁物からなる発熱体と、発熱体を遮蔽するケースとで構成する。

請求項（抜粋）：

試料を冷却状態にして観察する手段を有する走査形電子顕微鏡及びその類似装置の試料冷却観察装置において、前記試料を載せる部材の近くに、前記試料の温度を調節するための加熱手段を設け、前記加熱手段は、大気圧状態から前記試料の観察時の試料室圧力状態に至るまで、任意に加熱できる部材で構成したことを特徴とする試料冷却観察装置。

IPC (4件)：

H01J 37/20 ,  B01L 7/00 ,  G01N 1/28 ,  H05B 3/12

FI (5件)：

H01J 37/20 E ,  B01L 7/00 ,  H05B 3/12 ,  G01N 1/28 F ,  G01N 1/28 K