特許
J-GLOBAL ID：200903074170409379
三次元形状測定方法、三次元形状測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
原 謙三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-190632
公開番号（公開出願番号）：特開2003-185420
出願日： 2002年06月28日
公開日（公表日）： 2003年07月03日
要約：
【要約】【課題】 精度良く測定できる三次元形状測定方法、及び三次元形状測定装置を提供する。【解決手段】 白色光源といった、可干渉距離が1mm以下の低コヒーレントな光を発生する光源2を設ける。光源2の光軸上に配置され、上記光源2からの光からスリット光を形成するためのパターン形成手段3を設ける。スリット光を測定対象物5に対して集光するための投光レンズ4を設ける。上記スリット光による測定対象物5からの反射光に基づき上記測定対象物5の三次元形状を測定するための撮像光学系6を設ける。
請求項（抜粋）：
光切断法を用いた三次元形状測定方法において、レーザ光と比べて低コヒーレントな光源からのスリット光を測定対象物に投影し、上記スリット光による測定対象物からの反射光に基づき上記測定対象物の三次元形状を測定することを特徴とする三次元形状測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/24 A
, H01L 21/92 604 T
2F065AA04
, 2F065AA53
, 2F065CC25
, 2F065CC26
, 2F065DD02
, 2F065DD04
, 2F065FF04
, 2F065GG04
, 2F065GG07
, 2F065GG24
, 2F065HH05
, 2F065HH07
, 2F065HH12
, 2F065JJ05
, 2F065JJ08
, 2F065JJ26
, 2F065LL11
, 2F065LL28
, 2F065QQ24
