特許
J-GLOBAL ID：200903074176443323
成膜方法および成膜装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
宇高 克己
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-170741
公開番号（公開出願番号）：特開平9-025576
出願日： 1995年07月06日
公開日（公表日）： 1997年01月28日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 均一な膜の形成。【解決手段】 M元素成分を有する粒子の堆積工程(A)と、酸化性を有する成分の供給工程(B)と、形成された膜について透過X線強度を求めるX工程(C)と、形成された膜について光透過度を求めるO工程(D)とを具備し、CとDで得た情報に変動が認められない場合には、Aの堆積量とBの供給量をそのまま維持し、Cで得た情報に変動が認められず、Dで得た情報に変動が認められる場合には、これに応じてBの供給量を変動させ、Dで得た情報に変動が認められず、Cで得た情報に変動が認められる場合には、これに応じてAの堆積量を変動させ、CとDで得た情報に変動が認められる場合には、これに応じてAの堆積量とBの供給量を変動させる、M元素成分を有する粒子を飛来させ、支持体上に推積させる成膜方法。
請求項（抜粋）：
M元素成分を有する粒子を飛来させ、支持体上に堆積させることにより膜を形成する方法であって、M元素成分を有する粒子を堆積させる工程と、酸化性を有する成分を供給する工程と、形成された膜について透過X線強度を求めるX工程と、形成された膜について光透過度を求めるO工程とを具備し、前記X工程およびO工程で得た情報に変動が認められない場合には、M元素成分を有する粒子の堆積量および酸化性を有する成分の供給量をそのまま維持し、前記X工程で得た情報に変動が認められず、O工程で得た情報に変動が認められる場合には、これに応じて酸化性を有する成分の供給量を変動させ、前記O工程で得た情報に変動が認められず、X工程で得た情報に変動が認められる場合には、これに応じてM元素成分を有する粒子の堆積量を変動させ、前記X工程およびO工程で得た情報に変動が認められる場合には、これに応じてM元素成分を有する粒子の堆積量および酸化性を有する成分の供給量を変動させることを特徴とする成膜方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/56 A
, G11B 5/85 Z
