特許
J-GLOBAL ID:200903074189336550
パターン形成用積層被膜、その積層被膜の製造方法及びその被膜を使用したパターン形成方法
発明者:
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,
出願人/特許権者:
,
代理人 (1件):
小田島 平吉 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-317923
公開番号(公開出願番号):特開2001-133972
出願日: 1999年11月09日
公開日(公表日): 2001年05月18日
要約:
【要約】【課題】 パターン形成用積層被膜、その積層被膜の製造方法及びその被膜を使用したパターン形成方法を提供する。【解決手段】 基材表面にネガ型もしくはポジ型感熱線性樹脂被膜層(A)、熱線を透過するシート層(B)、及び熱線吸収剤を含有する感エネルギー線被膜層(C)を順次積層してなることを特徴とするパターン形成用積層被膜。
請求項(抜粋):
基材表面にネガ型もくはポジ型感熱線性樹脂被膜層(A)、熱線を透過するシート層(B)、及び熱線を遮蔽する感エネルギー線被膜層(C)を順次積層してなることを特徴とするパターン形成用積層被膜。
IPC (4件):
G03F 7/004 512
, C08F 2/46
, G03F 7/40 521
, H05K 3/06
FI (4件):
G03F 7/004 512
, C08F 2/46
, G03F 7/40 521
, H05K 3/06 H
Fターム (50件):
2H025AA01
, 2H025AA19
, 2H025AA20
, 2H025AB15
, 2H025AC08
, 2H025AD01
, 2H025AD03
, 2H025BC13
, 2H025BC42
, 2H025BD23
, 2H025BE01
, 2H025CA00
, 2H025CB42
, 2H025CC09
, 2H025DA03
, 2H025DA40
, 2H025EA08
, 2H025FA17
, 2H025FA39
, 2H096AA26
, 2H096BA01
, 2H096BA09
, 2H096CA20
, 2H096EA04
, 2H096GA08
, 4J011QA48
, 4J011QB14
, 4J011QB23
, 4J011RA03
, 4J011RA07
, 4J011RA10
, 4J011SA01
, 4J011SA21
, 4J011SA63
, 4J011SA76
, 4J011SA78
, 4J011SA79
, 4J011SA86
, 4J011UA01
, 4J011WA01
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CC10
, 5E339CD01
, 5E339CE12
, 5E339CE16
, 5E339CF02
, 5E339CF06
, 5E339CF17
, 5E339DD05
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