レーザ発振装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：橋爪良彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-262378
公開番号（公開出願番号）：特開平9-232649
出願日： 1996年09月12日
公開日（公表日）： 1997年09月05日
要約：

【要約】【課題】レーザチャンバのメンテナンス性を向上する。【解決手段】ヘッド101内に、レーザチャンバ105と、レーザチャンバ105に装着され、レーザガスを励起する放電回路と、電荷を放電回路に移行する充電回路とを備えたレーザ発振装置において、充電回路を放電回路及びレーザチャンバ105から着脱可能とする着脱手段と、充電回路を分離した放電回路及びレーザチャンバ105をヘッド101外部に引き出し可能とする移動手段とを備える。あるいは、レーザ光軸上のレーザチャンバ105の壁にリアウインド124及びフロントウインド106を設け、レーザチャンバ105の外部に各ウインド124、106に対向して光学系機器を設けた外部共振型レーザ発振装置において、前記着脱手段と、充電回路を分離した放電回路及びレーザチャンバ105を、光軸を外れる方向へ、かつ、ヘッド101外部に引き出し可能とする移動手段とを備える。

請求項（抜粋）：

ヘッド(101) 内に、レーザガスが密封されたレーザチャンバ(105) と、レーザチャンバ(105) に装着され、かつ、放電により前記レーザガスを励起する放電回路と、前記放電のための電荷が充電され、この電荷を前記放電回路に移行する充電回路とを備え、前記励起したレーザガスによってレーザ光を発振させるレーザ発振装置において、前記充電回路を前記放電回路及び前記レーザチャンバ(105) から着脱可能とする着脱手段と、前記充電回路を分離した前記放電回路及び前記レーザチャンバ(105) をヘッド(101) の外部に引き出し可能とする移動手段とを備えたことを特徴とするレーザ発振装置。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭59-217383
特開昭59-217383

前のページに戻る