特許
J-GLOBAL ID：200903074198280789
液体材料気化装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-079259
公開番号（公開出願番号）：特開平11-269653
出願日： 1998年03月26日
公開日（公表日）： 1999年10月05日
要約：
【要約】【課題】気化効率、再現性および安定に優れ低コストでシンプルな構造の液体材料気化装置を提供する。【解決手段】内側ヒータブロック1の内径に密着させて挿入したキャピラリーチューブ4を、外側ヒータブロック2の内側にあって該内側ヒータブロック1の外径上にピッチ間隔を変えて巻かれたヒータ3を加熱すると、前記キャピラリーチューブ4の区間ごとに所定の温度と温度勾配を作ることができ、MOCVD用液体材料を矢印Aから導入すると、液中バブルの発生、液滴噴霧、完全噴霧の各段階を経て矢印Bから気化された液体材料を取り出すことができる。
請求項（抜粋）：
液体材料を気化する液体材料気化装置において、液体材料を導入し気化するための細管と、該細管を貫通して固着し、加熱するための金属ブロックと、該金属ブロックの軸方向の区間毎に温度勾配を設けるための加熱手段を備え、液体材料を気化させることを特徴とする液体材料気化装置。
IPC (3件)：
C23C 16/44
, B01J 7/02
, H01L 21/205
C23C 16/44 C
, B01J 7/02 Z
, H01L 21/205
