流体の被除去物除去方法および流体の被除去物除去装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：須藤克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-324367
公開番号（公開出願番号）：特開2001-038352
出願日： 1999年11月15日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】従来、ダイシング等の機械的加工により発生する研磨屑、研削屑が混入された排水は、凝集沈殿法またはフィルタ濾過と遠心分離を組み合わせた二通りで処理されていた。しかし前者では、濾過水に薬品が混入し、濾過水の再利用が行えず、また後者は、システムとして大きくなり、イニシャルコスト、ランニングコストが高い問題を有していた。【解決手段】第1のフィルタ膜10にトラップされた被除去物12を第2のフィルタ膜13として活用し、第1のフィルタ膜10への目詰まりを防止すると共に、第2のフィルタ膜13には、気泡等の外力が与えられ、濾過能力を維持している。また濾過水に被除去物が混入されている場合は、濾過水を再度排水が貯められている槽に循環させ、所望の混入率に成るのを確認した後、再度濾過を開始する。

請求項（抜粋）：

流体中に含まれる被除去物の少なくとも一部から成るフィルタで前記被除去物を除去することを特徴とする流体の被除去物除去方法。

IPC (6件)：

C02F 1/44 , B01D 61/14 500 , B01D 65/02 , B01D 71/26 , B24B 55/12 , H01L 21/304 622

FI (6件)：

C02F 1/44 K , B01D 61/14 500 , B01D 65/02 , B01D 71/26 , B24B 55/12 , H01L 21/304 622 E

Fターム (27件)：

3C047GG13 , 3C047GG17 , 3C047GG18 , 4D006GA06 , 4D006HA41 , 4D006JA31A , 4D006JA35A , 4D006JA52A , 4D006JA56A , 4D006KA12 , 4D006KA43 , 4D006KA63 , 4D006KC13 , 4D006KC14 , 4D006KE01Q , 4D006KE01R , 4D006KE02Q , 4D006KE02R , 4D006MA03 , 4D006MA06 , 4D006MA31 , 4D006MC03 , 4D006MC22 , 4D006PB08 , 4D006PB15 , 4D006PB20 , 4D006PC80

引用特許：

出願人引用 (3件)

活性汚泥濾過装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-177201 出願人：大同均, 麻生栄治, 栗田工業株式会社, 新日本製鐵株式会社, 日立金属株式会社
流体の被除去物除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-324366 出願人：三洋電機株式会社
特開平1-180205

審査官引用 (2件)

活性汚泥濾過装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-177201 出願人：大同均, 麻生栄治, 栗田工業株式会社, 新日本製鐵株式会社, 日立金属株式会社
流体の被除去物除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-324366 出願人：三洋電機株式会社

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