特許
J-GLOBAL ID：200903074204090938
スパッタリング用ターゲット
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-070443
公開番号（公開出願番号）：特開平5-230638
出願日： 1992年02月20日
公開日（公表日）： 1993年09月07日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 ターゲット材を裏板へ機械的に押え付けたスパッタリング用ターゲットの冷却効率を安定にすることを目的としている。【構成】 冷却水で冷却される裏板1にターゲット材2を押えリング3を介して機械的に押え付けてなるスパッタリング用ターゲットにおいて、ターゲット材2の裏板1と当接する面に金属薄膜9が形成してある。
請求項（抜粋）：
冷却水で冷却される裏板にターゲット材を機械的に押え付けてなるスパッタリング用ターゲットにおいて、前記ターゲット材の裏板と当接する面に、金属薄膜が形成してあることを特徴としたスパッタリング用ターゲット。
引用特許：
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