特許
J-GLOBAL ID：200903074204119804
光ディスクの検査方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
滝本 智之 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-284778
公開番号（公開出願番号）：特開平9-126737
出願日： 1995年11月01日
公開日（公表日）： 1997年05月16日
要約：
【要約】【課題】 低コストで、光ディスクの変形全体を計測する光ディスクの検査方法を提供する。【解決手段】 1つの半導体レーザーからの光を平行光線にし、シリンドリカルレンズにて、ライン状に拡大した後、fθレンズにて平行光にし、多数のピンホール列を有するしゃへい板を介して、複数の光線を光ディスクに当て、これを1つのCCDカメラで結像させる。
請求項（抜粋）：
光ディスクの変形を検査する光ディスクの検査方法であって、光ディスクの中心を通りかつ光ディスクの面に対し、垂直な面に関して対称となる位置に、発光系と受光系をそれぞれ配し、その発光系は、ライン状の平行光線の光路上に、一列に配した複数のピンホールを有するピンホール板を挿入して複数の光源を作り、光ディスクを回転させながら前記垂直面および光ディスク面の交差線上に照射し、受光系は、その反射光の結像位置のずれに基づいて光ディスクの多数位置での変形を検査する光ディスクの検査方法。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 11/30 102
, G11B 7/26
G01B 11/24 D
, G01B 11/30 102 Z
, G11B 7/26
