特許

J-GLOBAL ID：200903074206463626

パターン検査装置

発明者： 肥塚 哲男 ,  柿木 義一 ,  安藤 護俊 ,  須藤 嘉規
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-345047
公開番号（公開出願番号）：特開平6-058731
出願日： 1992年12月25日
公開日（公表日）： 1994年03月04日
要約：

【要約】【目的】 透光性の配線基板のパターンの形状を検査するパターン検査装置に関し、特にパターンの平面形状はもとより立体形状をも能率良く検査できるパターン検査装置の提供を目的とする。【構成】 配線基板10を別々の方向から照射する複数の照射ランプ31,32 及びこの配線基板の裏面を垂直に照射する照射ランプ33と、配線基板10の表面を映像信号で出力する撮像手段34と、撮像手段34から配線基板10の映像信号を入力し、配線基板10のパターン12の幅を算出し、このパターン12の良否判定を行なう二次元論理回路35と、照射ランプ32,33 により照射された配線基板10を撮影した撮像手段34より映像信号を入力し、こパターン12が配線基板10の表面に作り出す影パターンの幅を算出し、このパターン12の良否判定を行なう三次元論理回路36,37 とを含んでなるパターン検査装置において、照射ランプ31,32,33が互いに異なる光の三原色の一つをそれぞれ発光するとともに、撮像手段34をカラーテレビジョンカメラで構成する。

請求項（抜粋）：

透光性を有する配線基板(10)の表面に別々の方向から光を斜めに照射する複数の照射手段(31,32) 及びこの配線基板(10)の裏面に光を垂直に照射する照射手段(33)と、前記配線基板(10)の表面をその真正面から撮影し、この配線基板(10)の表面を映像信号で出力する撮像手段(34)と、前記照射手段(33)により照射された前記配線基板(10)を撮影した前記撮像手段(34)より映像信号を入力し、この映像信号から配線基板(10)のパターン(12)の幅を算出し、このパターン(12)の良否判定を行なう二次元論理回路(35)と、前記複数の照射手段(32,33) により照射された前記配線基板(10)を撮影した前記撮像手段(34)より映像信号を入力し、この映像信号からパターン(12)が配線基板(10)の表面に作り出す影パターン(12a,12b) の幅を算出し、パターン(12)の良否判定を行なう三次元論理回路(36,37) とを含んでなるパターン検査装置において、前記照射手段(31,32,33)が発生する光の色がそれぞれ異なるとともに、前記撮像手段(34)が色弁別撮像手段であることを特徴とするパターン検査装置。

IPC (6件)：

G01B 11/24 ,  G01N 21/88 ,  G03F 1/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66 ,  H05K 3/00