特許

J-GLOBAL ID：200903074209111135

荷電粒子線測定装置

発明者： 加賀 広靖 ,  中山 義則
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高田 幸彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-241909
公開番号（公開出願番号）：特開平5-080158
出願日： 1991年09月20日
公開日（公表日）： 1993年04月02日
要約：

【要約】【目的】本発明の目的は、ナイフエッジ等の鋭利な断面をもつ遮蔽体を電子ビームが横切る際、遮蔽体との衝突に伴って遮蔽体内部で拡がる問題点を克服し、0.1μm以下のビーム径を測定することにある。【構成】ナイフエッジ5にエネルギーEのビーム1を選択的に通すエネルギーフィルターとして、膜厚を電子エネルギーEの飛程距離に制御した薄膜状の遮蔽体6を付加する。遮蔽体下流にファラデーカップ8を設け、遮蔽体6を透過した電子10を高速増幅器8で増幅する。

請求項（抜粋）：

荷電粒子線を偏向する手段と荷電粒子線を遮蔽する部分と荷電粒子線を検出する部分から成る荷電粒子測定器において荷電粒子線の遮蔽部分に特定エネルギー以上だけを透過する部分を設けたことを特徴とする荷電粒子線測定装置。