特許
J-GLOBAL ID：200903074219271300
電子顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平木 祐輔
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-298171
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162056
出願日： 1994年12月01日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：
【要約】【目的】 高倍率観察時に問題となる走査コイルのノイズを低減する。【構成】 走査コイルを偏向感度の大きな第一走査コイル7と偏向感度の小さい第二走査コイル8により構成し、低倍率観察時には偏向感度の大きな第一走査コイル7を用い、高倍率観察時には偏向感度の小さい第二走査コイル8に切り替える。【効果】 電子線を偏向する走査電流のノイズ電流の観察像に与える影響を著しく低減することができる。
請求項（抜粋）：
電子源と、電子レンズと、電子線偏向手段とを含む電子顕微鏡において、前記電子線偏向手段は偏向感度の異なる複数の偏向コイルと、低倍率観察時には偏向感度の高い偏向コイルを選択し高倍率観察時には偏向感度の低い偏向コイルを選択する偏向コイル選択手段を備えることを特徴とする電子顕微鏡。
IPC (2件)：
H01J 37/147
, H01J 37/141
