特許

J-GLOBAL ID：200903074222995069

電極構造およびそれを用いた放電プラズマ処理装置

発明者： 末崎 穣
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-311646
公開番号（公開出願番号）：特開2003-117384
出願日： 2001年10月09日
公開日（公表日）： 2003年04月22日
要約：

【要約】【課題】 湿潤雰囲気下においても安定に放電処理を行うことのできる、セラミックス誘電体をコーティングしたロール状電極構造及びそれを用いた放電プラズマ処理装置の提供。【解決手段】 シート状物に放電処理を施すロール状電極であて、円筒面上にセラミックス誘電体の溶射コーティング層を有し、さらに、この外層に樹脂被覆を施すことを特徴とする電極構造であり、さらに詳細には、外層の樹脂被覆がフッ素系樹脂であることを特徴とし、樹脂被覆を熱収縮性チューブを加熱収縮することにより、円筒面上をシームレスで被覆形成したことを特徴とする電極構造およびそれを用いた放電プラズマ処理装置。

請求項（抜粋）：

シート状物に放電処理を施すロール状電極であって、ロール状金属電極の円筒面上にセラミックス誘電体の溶射コーティング層を有し、さらに、該コーティング層の上に樹脂被覆層を有することを特徴とする電極構造。

IPC (4件)：

B01J 19/08 ,  C23C 16/02 ,  H05H 1/24 ,  H05H 1/46

FI (4件)：

B01J 19/08 E ,  C23C 16/02 ,  H05H 1/24 ,  H05H 1/46 M

Fターム (24件)：

4G075AA29 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075BB10 ,  4G075BC06 ,  4G075BC10 ,  4G075CA16 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075DA18 ,  4G075EC21 ,  4G075ED04 ,  4G075FA12 ,  4G075FB04 ,  4G075FB12 ,  4G075FC15 ,  4K030CA07 ,  4K030CA12 ,  4K030DA04 ,  4K030JA11 ,  4K030JA14 ,  4K030KA16 ,  4K030KA46 ,  4K030KA47