特許

J-GLOBAL ID：200903074241925128

熱処理方法およびその処理装置

発明者： 松島 勝 ,  清田 幸弘 ,  金子 豊
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-305883
公開番号（公開出願番号）：特開平8-162463
出願日： 1994年12月09日
公開日（公表日）： 1996年06月21日
要約：

【要約】【構成】ランプ4により加熱されるウエハ3の裏面側には、放射温度計6が設置され、この測定値は温度調節器8と制御開始信号出力器11に入力される。加熱開始時は定電流源10の信号により、所定の電力が供給されるが、放射温度計6の測定値が予め設定した制御開始温度を2回越えた時点で制御開始信号出力器11が働き、リレー9が切り替わり、温度調節器8の信号によりランプ4の出力が制御される。【効果】制御開始タイミングを、放射温度計の測定値が制御開始温度を2回越えた時とするため、正確な制御開始タイミングを把握することができる。また、急速加熱時にもむだ時間のない直線的な加熱が可能となる。

請求項（抜粋）：

放射温度計を用いてウエハの温度を測定し、温度調節器により前記ウエハの温度が所望の温度になるよう加熱手段の出力を制御する熱処理方法において、加熱開始時は所定の出力で加熱を行い、前記放射温度計の測定値が制御開始設定温度を2回以上越えた時点で温度制御を開始することを特徴とする熱処理方法。

IPC (4件)：

H01L 21/324 ,  G05D 23/19 ,  H01L 21/22 501 ,  H01L 21/26