特許

J-GLOBAL ID：200903074244011003

電子放出素子及びそれを用いた電子源並びに画像形成装置の製造方法と、電子放出素子の活性化装置

発明者： 岩崎 達哉 ,  大西 敏一 ,  山野辺 正人 ,  池田 外充 ,  河出 一佐哲
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 豊田 善雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-182048
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069333
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【目的】 表示装置、露光装置などの画像形成装置の電子源として用いられ、均一な電子放出特性を有し電力消費の少ない電子放出素子を提供する。【構成】 電極2,3間に、電子放出部5を有する導電性膜4を備える電子放出素子の製造方法において、a)初期条件下、間隙部を有する導電性膜4に電圧を印加する工程と、b)導電性膜4の電気的特性を検知する工程と、c)検知された電気的特性に基づき初期条件を変更する工程とを有する活性化工程を施すことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

電極間に、電子放出部を有する導電性膜を備える電子放出素子の製造方法において、放出電流を増加させる活性化工程を有し、該活性化工程は、a)初期条件下、間隙部を有する導電性膜に電圧(Vact)を印加する工程と、b)前記導電性膜の電気的特性を検知する工程と、c)前記検知された電気的特性に基づき前記初期条件を変更する工程とを有することを特徴とする電子放出素子の製造方法。

IPC (4件)：

H01J 9/02 ,  H01J 1/30 ,  H01J 31/12 ,  H01J 31/15

FI (4件)：

H01J 9/02 B ,  H01J 1/30 Z ,  H01J 31/12 B ,  H01J 31/15 C